确定光刻掩模的对线宽的波动的与结构无关的贡献的方法

摘要

为了确定光刻掩模(5)对线宽的波动的与结构无关的贡献，以空间分辨的方式评估光刻掩模(5)的非结构化测量区域的记录的2D强度分布(15_zi)。