一种非球面光学元件自动化抛光系统及方法

摘要

本发明公开了一种非球面光学元件自动化抛光系统及方法，采用闭环控制和迭代加工原理，该系统包括二维定位运动模块、压力控制模块和速度位置伺服模块；二维定位运动模块包括主轴转台、三角支架、连杆、主电动缸、辅电动缸、小磨头、直线导轨和圆弧导轨；压力控制模块包括气缸、空气压缩机和节流阀；速度位置伺服模块包括电脑、控制卡和驱动器；本发明采用现代检测技术获取准确的面形数据作为反馈，不断地调整加工参数直至面形收敛，实现了闭环控制；该过程降低了对加工者经验的依赖性，完全由计算机进行控制；该系统和方法能实现非球面光学元件的微米级精度抛光，且表面粗糙度达到亚微米级。