МЕТОДЫ СЕРТИФИКАЦИИ ДИФРАКЦИОННЫХ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ ДЛЯ КОНТРОЛЯ АСФЕРИЧЕСКОЙ ОПТИКИ

摘要

Рассмотрена задача сертификации дифракционных оптических элементов (ДОЭ), применяемых для контроля асферических поверхностей. Исследованы методы совмещения двух фазовых функций пропускания в одном ДОЭ с целью формирования помимо основного асферического волнового фронта дополнительного сферического, результаты измерения которого могут быть использованы для сертификации асферического фронта. Проведен анализ ДОЭ, в котором совмещены две дифракционные структуры путем разбиения области элемента на ячейки, попеременно заполняемые фрагментами этих структур. Рассмотрены три варианта формы ячеек: кольца, прямые полосы и кольцевые сектора. Теоретически и экспериментально показано, что при использовании конфигурации с кольцевыми секторами вносимые погрешности ниже, чем при использовании деления на кольца или полосы. Численно рассчитано влияние взаимной интерференции в случае близких пространственных частот на ошибку интерференционных измерений сферического и асферического волновых фронтов и предложены пути его уменьшения.