航天相机非球面光学元件的离子束抛光工艺研究

摘要

介绍了某型号航天相机中一块φ305mm大相对孔径(F#1.3)二次凸非球面反射镜的离子束抛光工艺方法.通过去除函数长时间稳定性分析实验,确认了RF60和RF40两种规格的离子源工艺参数,其所产生的去除函数的PV峰值去除率稳定性分别为3.71％和4.5％.对低入口面形精度的凸非球面反射镜,经过三轮离子束抛光,其面形精度从初始的PV=1.302λ、RMS=0.201λ提高至PV=0.157λ、RMS=0.013λ,满足了型号设计要求.