公开/公告号CN103774116B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-09-21
原文格式PDF
申请/专利权人 陕西拓日新能源科技有限公司;
申请/专利号CN201210399015.0
申请日2012-10-19
分类号
代理机构北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人孟海娟
地址 715200 陕西省渭南市澄城县醍醐村东拓日太阳城
入库时间 2022-08-23 09:47:25
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-09-21
授权
授权
2014-11-26
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/44 申请日:20121019
实质审查的生效
2014-05-07
公开
公开
机译: 通过等离子体化学气相沉积形成沉积膜的方法和通过等离子体化学气相沉积形成沉积膜的设备
机译: 气相沉积设备,用于控制气相沉积设备的设备,用于控制气相沉积设备的方法,使用该气相沉积设备的方法以及用于产生吹风输出的方法
机译: 用于等离子体增强化学气相沉积的方法和用于等离子体增强化学气相沉积的设备