非晶硅太阳电池双室沉积装置沉积室及加热体的设计

摘要

介绍国家“七五”攻关项目－非晶硅太阳电池沉积室及加热体设计时，在考虑满足工艺要求的使用温度为２５０℃的情况下，没有搬用国内外类似结构，而是通过实验采用最廉价的不锈钢片作为加热体，沉积室采用内热式。加热体做成活结构便于装拆，加热体外不用绝缘材料，使加热体简单、易造、成本降低、节能省电。