公开/公告号CN103246175B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-07-01
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN201310049438.4
申请日2013-02-07
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人吴敬莲
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2022-08-23 09:27:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-07-01
授权
授权
2013-09-11
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20130207
实质审查的生效
2013-08-14
公开
公开
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