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陈劲松;
安徽财经大学信息工程学院;
数字微镜; 数字掩模; 衍射光学元件; 空间光调制器;
机译:无掩模直接激光写入纳米光刻的一种新颖设计:衍射光学元件和非线性吸收无机抗蚀剂的组合
机译:GDOESII:用于设计衍射光学元件和将相位掩模转换为GDSII光刻文件的软件
机译:基于一步法无掩模灰度光刻的具有任意表面轮廓的微光学元件的制备
机译:使用无掩模光学光刻技术和数字微镜器件制造双波长衍射分束器
机译:空间光调制器,用于相干通信,自适应光学和无掩模光学光刻中。
机译:GDOSII:用于设计衍射光学元件的软件和GDSII光刻文件的相位掩模转换
机译:maNN:将衍射光学元件的设计转移到maNN光刻掩模发生器的程序
机译:-根据这样的衍射光学元件中的任一个的制备衍射光学元件的方法,具有这种衍射光学元件的照明光学器件,-具有这种透镜系统的微光刻投影曝光设备,用于制造具有该光学系统的微电子部件的方法。使用这种投影曝光设备以及通过该方法生产的这种组件
机译:用于无掩模光刻的衍射光学元件的制造和复制的系统和方法
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