基于掩模光刻技术和注塑成型制作衍射微光学元件的方法

摘要

一种基于掩模光刻技术和注塑成型制作衍射微光学元件的方法，使其制作朝着小型化、批量化、低成本和快速成型的方向发展。首先，利用制图软件制作出二元光栅、波带片等微光学元件的掩模图，再在镀铬玻璃板上制作出光刻掩模版。然后将铬掩模版应用于接触式光刻系统中，利用光刻工艺在涂有正性光刻胶的金属合金上制作出微光学元件图形，采用电化学刻蚀工艺对其进行刻蚀，使铬掩模版上的图形一一对应转印至金属合金基片上，这种刻有图形的金属合金即可作为注塑模上的活动模芯，可将上面的微光学元件利用注塑模转印至光学塑料上。该方法主要特点在于更换模芯方便，换上刻有不同图形的模芯就可制作出各种不同的衍射微光学元件。