退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
张鹏; 李嘉; 丁鼎;
无锡中微掩模电子有限公司 江苏无锡214000;
衍射光学元件; 感应耦合等离子体刻蚀技术; 涨缩技术; 零级光能量;
机译:微光学激光技术。 第1部分。衍射光学元件和具有幅度传输的光掩模的制造
机译:微光学激光技术。 第1部分。衍射光学元件的生产和具有幅度传输的照片掩模
机译:Selete的EULE掩模掩模缺陷减少技术扩展到EUVL掩模的光掩模缺陷检查和修复技术即使掩模尺寸为100 nm,也可以实现高精度的检查图像对比度
机译:用LDW玻璃制作灰度掩模和衍射光学元件
机译:EUV掩模技术的主要挑战:光化掩模检测和掩模3D效果。
机译:三维生物打印技术在人体皮肤设计与制作中的应用
机译:使用人工辅助的自组装掩模制作CoCtrPt图案化介质及其在信息存储中的应用
机译:玻璃掩模的制作及其在薄膜电路沉积中的应用
机译:制备衍射光学元件的方法,以及用于制造衍射光学元件的模具,以及由制造衍射光学元件的方法和光学系统制造的衍射光学元件,以及应用该衍射方法的光学装置和装置,
机译:光掩模装置,光学成像系统,用于确定衍射光学元件的光栅参数和吸收特性的方法以及用于制造衍射光学元件的方法
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。