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应用于光刻机的掩模版传输结构

摘要

掩模版传输是高性能光刻机的一个重要组成部分,随着光刻技术的不断发展,对其传递过程的各种要求也不断提高,同时对于实现其功能传输系统结构也得到了深入研究和应用.本文主要描述了该系统的基本构成,并针对目前国际上采用的几种典型结构进行介绍、探讨.

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