一种基于内含钕化物软质磨料固着磨具的蓝宝石晶片抛光方法

摘要

一种基于内含钕化物软质磨料固着磨具的蓝宝石晶片抛光方法，包括以下步骤：1)基于内含钕化物软质磨料固着磨具原料的配制：纳米二氧化硅40％～60％、粘结剂20％～40％、固化剂10％～15％、钕化物5％～10％、其余为去离子水；2)将配置好的原料在模具中热压成形，脱模后完成热固化，并对其上下端面进行修整；3)将磨具安装于抛光机的上盘，待加工的蓝宝石晶片放置在会旋转的抛光机下盘，用夹具固定住，启动抛光机，并在上下盘之间注入水基冷却液；磨具上的钕化物和二氧化硅磨粒对蓝宝石面进行划擦并发生固相反应，实现对蓝宝石晶片的抛光。本发明能够提高蓝宝石晶片的去除率并能降低粗糙度，提高加工效率、降低生产成本。