MEMS; accelerometer; glass–silicon composite wafer; vertical signal extraction; miniaturization;
机译:基于SOI技术的MEMS差分电容加速度计结构的设计与制造
机译:利用多层膜厚掩模制造具有阶梯形轮廓腔的基于MEMS的电容式硅麦克风结构
机译:基于玻璃-硅-玻璃键合技术的高性能晶圆级真空包装的设计与制造
机译:基于双器件层SOI晶片的mems电容式加速度计的设计与制造
机译:一种基于电气测试(BIST)电路的电气刺激,用于电容MEMS加速度计
机译:基于硅晶片蚀刻工艺的MEMS微克电容式加速度计
机译:金刚石电极在自由曲面MEMS器件制造中硅晶片高效电火花加工中的应用