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硅电容式加速度计研制中的玻璃-硅-玻璃静电封接技术

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本文介绍了玻璃-硅-玻璃静电封接的基本原理,阐述了经过改造后的DFJ-Ⅲ型静电封接设备能实现硅电容式加速度计的静电键合和精确对位.

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来源
《第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会》|2001年|353-355|共3页
会议地点成都
作者
吴嘉丽; 李红;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类封装及散热问题;
关键词
硅电容式加速度计; 静电封接; 精确对位; 试验方法;
入库时间 2022-08-17 10:20:41

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