首页> 外文OA文献 >The Application of Diamond-based Electrodes for Efficient EDMing of Silicon Wafers for Freeform MEMS Device Fabrication

【2h】

The Application of Diamond-based Electrodes for Efficient EDMing of Silicon Wafers for Freeform MEMS Device Fabrication

机译：金刚石电极在自由曲面MEMS器件制造中硅晶片高效电火花加工中的应用

代理获取

本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务，本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文，但由于OA文献来源多样且变更频繁，仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况，如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

页面导航

著录项
引文网络
相似文献
相关主题

著录项

作者
Fonda P.; Chan M.L.; Heidari A.; Nakamoto K.; Sano S.; Horsley D.D.; Yamazaki K.;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 2013
总页数
原文格式 PDF
正文语种
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. The Application of Diamond-based Electrodes for Efficient EDMing of Silicon Wafers for Freeform MEMS Device Fabrication [J] . P. Fonda, M.L. Chan, A. Heidari, Procedia CIRP . 2013,第1期

机译：金刚石基电极在自由曲面MEMS器件制造中硅晶片的高效电火花加工中的应用
2. Fabrication of a high aspect ratio thick silicon wafer mold and electroplating using flipchip bonding for MEMS applications [J] . Bong-Hwan Kim, Jong-Bok Kim Journal of Micromechanics and Microengineering . 2009,第6期

机译：高纵横比厚硅晶片模具的制造和使用倒装芯片键合的MEMS应用电镀
3. Fabrication of high aspect ratio structure and its releasing for silicon on insulator MEMS/MOEMS device application [J] . Ji Fan, Wen Ting Zhang, Jin Quan Liu, Journal of microanolithography, MEMS, and MOEMS . 2015,第2期

机译：高纵横比结构的制造及其在绝缘体MEMS / MOEMS器件上的硅释放
4. The application of diamond-based electrodes for efficient EDMing of silicon wafers for freeform MEMS device fabrication [C] . P. Fonda, M. L. Chan, A. Heidari, CIRP Conference on Electro Physical and Chemical Machining . 2013

机译：基于金刚石的电极在自由形状MEMS器件制造中高效编辑硅晶片的高效
5. Design, fabrication and testing of conformal, localized wafer-level packaging for RF MEMS devices. [D] . Collins, Gustina B. 2006

机译：设计，制造和测试用于RF MEMS器件的保形，局部晶圆级封装。
6. WAFER-SCALE SOLID FREEFORM FABRICATION OF FULLY-ASSEMBLED METAL MICRO-MECHANISMS FOR MINIMALLY-INVASIVE MEDICAL DEVICES [O] . A. Cohen, R. Chen, U. Frodis, -1

机译：微侵袭性医疗设备全组装金属微机构的晶片级固态自由形式制造
7. Analysis and wafer-level design of a high-order silicon vibration isolator for resonating MEMS devices [O] . Yoon Sang Won, Lee Sangwoo, Perkins Noel C, 2011

机译：用于谐振mEms器件的高阶硅振动隔离器的分析和晶圆级设计

The Application of Diamond-based Electrodes for Efficient EDMing of Silicon Wafers for Freeform MEMS Device Fabrication

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅