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阳离子表面活性剂对A向蓝宝石晶片化学机械抛光效率的影响

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A向蓝宝石晶片在纯二氧化硅下材料去除率(MRR)随着PH值的增加先逐渐提高然后降低,在PH8时达到最大,最大MRR为1467.6mn/h;添加0.015wt％阳离子表面活性剂后,MRR随着PH值的增加先逐渐提高然后降低,但在PH9时最大,最大值为MRR=2366.3nm/h.在碱性条件下添加阳离子表面活性剂可以提高A向蓝宝石晶片的MRR.

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来源
《第十九届中国磨粒技术学术会议》|2017年|183-184|共2页
会议地点哈尔滨
作者
白亚雯; 倪自丰; 滕康; 陈国美;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类人造刚玉;
关键词
蓝宝石晶片; 化学机械抛光; 阳离子表面活性剂; 表面质量;

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