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蓝宝石晶片以及用于制造具有倾斜热屏蔽层的蓝宝石晶片的设备和方法

摘要

本公开涉及一种用于通过边缘限定薄膜供料生长方法(EFG)培植蓝宝石晶片的设备和方法,该设备包括相对于模具端头的侧表面倾斜的热屏蔽层。本公开进一步涉及一种具有比如特定的最大低点厚度的特征的蓝宝石晶片和这种晶片的批次。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-12-09

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B11/14 申请日:20140314

    实质审查的生效

  • 2015-11-11

    公开

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