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陈芝向; 袁巨龙; 杭伟; 王勤峰; 许良; 吕冰海;
浙江工业大学超精密加工研究中心;
杭州310023;
天通控股股份有限公司;
浙江海宁314412;
层叠式; 超薄蓝宝石; 双平面加工; 平面度; 抛光;
机译:分布式伯努利原理的超薄晶片的软作用非接触式夹持方法
机译:通过机械化学抛光用软硬混合磨料对蓝宝石晶片进行平面化加工的研究
机译:具有飞秒激光加工的平面内激动剂-拮抗剂SMA驱动器的微夹持器,通过电流铆接集成到晶片级
机译:平面激光微加工块状PZT双压电晶片,用于平面内驱动
机译:聚酰亚胺-双压电晶片型纤毛致动器阵列:CMOS兼容微加工技术的演示。
机译:用于抛光超薄蓝宝石晶片的层堆叠钳位(LSC)的机理
机译:基于改性滑裂模型的超精密加工过程中蓝宝石r平面材料去除行为研究
机译:基于NiTi形状记忆合金(sma)的溅射镍钛(NiTi)应力和热驱动悬臂双压电晶片的表征。
机译:晶片加工层叠体,晶片加工部件,晶片加工用临时粘接材料以及薄晶片的制造方法
机译:等离子体辅助晶片加工装置的双电极晶片夹持器
机译:基于有限元模型的基于半导体晶片夹持的平面畸变预测的系统和方法
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