新型控制方式在超薄片双面研磨抛光加工中的应用——针对超薄蓝宝石片、蓝玻璃、石英片的加工解决方案

摘要

首先简单介绍了双面研磨/抛光加工的机理,随后针对超薄硬脆材料的双面加工对设备所提出的需求,从上下盘的面形控制、压力精度控制和速度同步性的控制等方面分别阐述了对超薄片加工的不同影响,及相应的解决办法和思路.最后提到,双面研磨抛光设备要想获得理想的加工精度,成熟的工艺也是必要的保证.