大尺寸超薄石英玻璃片双面抛光加工方法

摘要

本发明是一种大尺寸超薄石英玻璃片双面抛光加工方法，该方法适用于直径Φ为100-200mm，厚度为0.2-0.5mm的石英玻璃片的研磨抛光；工件加工之前对工件进行清洗，细磨和抛光在相同机型的双面研磨抛光机上进行；研磨时研磨压力为0.01-0.03Mpa，转数为6-8/min，每件石英玻璃片的研磨时间为50-80min；当研磨过程中，保持双面研磨抛光机的游星轮平整；工件加工后使用超声波清洗，清洗最后放在质量比为1：1的酒精与乙醚混合液中浸泡2-3分钟，即可。本发明工艺保证了被加工件的高成品率，提高了效率，其成品率可达97%左右。