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陈毓; 胡晓珍; 李伟;
浙江海洋学院机电工程学院;
浙江工业大学机械工程学院;
大尺寸硅晶片; 高精度; 双面研磨抛光机; 改进设计;
机译:硅晶片同时双面研磨:实验研究的回顾与分析
机译:同时进行硅晶片的双面研磨:晶片形状的数学模型
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机译:双面研磨和抛光机床系统的研究
机译:通过将功能设计,强度设计和制造设计相结合的方法论,进行大尺寸家具的设计和开发。
机译:单晶硅晶片中单片集成三轴高冲击加速度计的设计制造和测试
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机译:用于路面防滑的变速摩擦测试仪和小轮圆轨磨损抛光机的实施。第二部分 - NCsU圆轨道磨损和抛光机操作手册。
机译:平面研磨抛光机的平行稳定器和双头平面研磨机,双平面精细研磨机,双面研磨机和抛光机的回转支承系统
机译:硅晶片抛光机,用于其的保持组件以及硅晶片的平整度校正方法
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