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重视成品率问题:蓝宝石材质对LED晶片加工过程的影响之案例研究

摘要

本文分析了不同蓝宝石长晶技术会显著影响蓝宝石材料的各种特性和质量,从而影响LED晶片/外延片的成品率及生产效益,证实了ASF长晶法生的蓝宝石材料整体性能及晶片成品率综合排名最高,以及OHT检测方法的有效性。

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