首页> 中文期刊>电子工业专用设备 >LED用蓝宝石晶片湿法腐蚀清洗技术的研究

LED用蓝宝石晶片湿法腐蚀清洗技术的研究

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

介绍了蓝宝石晶片的清洗原理;通过分析蓝宝石的表面净化原理和对湿法腐蚀清洗工艺试验的研究,提出了一种适用于工业化生产蓝宝石晶片的清洗剂和净化工艺,满足了LED领域的蓝宝石晶片表面洁净度要求.

著录项

来源
《电子工业专用设备》|2013年第9期|8-10,58|共4页
作者
郑佳晶; 孙敏; 张金凤;
展开▼
作者单位

中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京101601;

中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京101601;

中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京101601;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类洁净技术;
关键词
蓝宝石晶片; 净化工艺; 清洗剂; 湿法腐蚀;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. LED用蓝宝石衬底抛光后湿法清洗研究 [J] . 卓志国 ,周海 ,施建国 . 机械设计与制造 . 2014,第001期
2. 湿法腐蚀制备GaN LED蓝宝石图形衬底的工艺方法研究 [J] . 徐文俊 ,李海鸥 ,李琦 . 微电子学与计算机 . 2015,第4期
3. 晶片干燥技术在高洁净湿法清洗设备中的应用 [J] . 祝福生 ,郭立刚 ,夏楠君 . 电子工业专用设备 . 2020,第001期
4. 湿法腐蚀制备蓝宝石图形衬底的研究 [J] . 邵慧慧 ,李树强 ,曲爽 . 人工晶体学报 . 2010,第6期
5. 蓝宝石晶片纳米级超光滑表面加工技术研究 [J] . 周海 ,姚绍峰 . 金刚石与磨料磨具工程 . 2005,第005期
6. 基于湿法腐蚀的蓝宝石微结构加工技术研究 [C] . Shang Yingqi ,尚瑛琦 ,Qi Hong . 第十四届全国敏感元件与传感器学术会议 . 2016
7. 蓝宝石晶片超光滑加工技术研究 [A] . 徐安民 . 2007

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号