机译：用于气体传感器的多晶3C-SiC悬浮膜上的微型加热器的制备及其特性
机译：不同氮掺杂浓度的多晶3C-SiC微谐振器的特性
机译：用于极端环境微/纳米机电系统的多晶3C-SiC薄膜的生长和特性
机译：基于多晶3C-SiC的高温高压微加热器的制备及性能
机译：用于调谐微机电谐振器的多晶硅的选择性沉积：实验和仿真。
机译：SOI基板上的轮廓模式MEMS ALN压电环谐振器的温度特性
机译：具有波纹的多晶3C-SiC微束谐振器的设计
机译：温度补偿晶体振荡器（TCXO）设计辅助：由串联电容器移位的频率 - 温度谐振器特性。
