首页> 外文OA文献 >Design of Polycrystalline 3C-SiC Micro Beam Resonators with Corrugation

【2h】

Design of Polycrystalline 3C-SiC Micro Beam Resonators with Corrugation

机译：具有波纹的多晶3C-SiC微束谐振器的设计

代理获取

本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务，本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文，但由于OA文献来源多样且变更频繁，仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况，如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

页面导航

著录项
引文网络
相似文献
相关主题

著录项

作者
Gwiy-Sang Chung; Nguyen Duong The Nhan; Phan Duy Thach;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 2008
总页数
原文格式 PDF
正文语种
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. CLAMPING LOSSES OF FOLDED- AND STRAIGHT-BEAM MEMS RESONATORS MADE FROM POLYCRYSTALLINE 3C-SiC FILMS [J] . WEN-TENG CHANG International Journal of Modern Physics, B. Condensed Matter Physics, Statistical Physics, Applied Physics . 2011,第6期

机译：多晶3C-SiC薄膜制成的折叠和直束MEMS谐振器的钳位损耗
2. Grain size control of (111) polycrystalline 3C-SiC films by doping used as folded-beam MEMS resonators for energy dissipation [J] . Wen-Teng Chang, Christian Zorman Microsystem Technologies . 2009,第6期

机译：通过掺杂来控制（111）多晶3C-SiC薄膜的晶粒尺寸，以用作折束MEMS谐振器以实现能量耗散
3. Grain size control of (111) polycrystalline 3C-SiC films by doping used as folded-beam MEMS resonators for energy dissipation [J] . Wen-Teng Chang, Christian Zorman Microsystem technologies . 2009,第6期

机译：通过掺杂来控制（111）多晶3C-SiC薄膜的晶粒尺寸，以用作折束MEMS谐振器以实现能量耗散
4. Energy Dissipation in Folded-Beam MEMS Resonators Made from Single Crystal and Polycrystalline 3C-SiC Films [C] . Wen-Teng Chang, Mehran Mehregany, Christian A. Zorman IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems . 2007

机译：由单晶和多晶3C-SiC膜制成的折叠梁MEMS谐振器中的能量耗散
5. Selective deposition of polycrystalline silicon for tuning micro-electro-mechanical resonators: Experiment and simulation. [D] . Joachim, Daphne. 2001

机译：用于调谐微机电谐振器的多晶硅的选择性沉积：实验和仿真。
6. Mechanical Behaviors Research and the Structural Design of a Bipolar Electrostatic Actuation Microbeam Resonator [O] . Jingjing Feng, Cheng Liu, Wei Zhang, 2019

机译：双极静电致动微束谐振器的力学行为研究和结构设计
7. Temperature Characteristics of Polycrystalline 3C-SiC Micro Resonators [O] . 2009

机译：多晶3C-SIC微谐振器的温度特性
8. LASER RESONATORS, PROPERTIES OF LASER BEAMS AND DESIGN OF OPTICAL SYSTEMS [R] . B. A. See 1970

机译：激光谐振器，激光束的特性和光学系统的设计

Design of Polycrystalline 3C-SiC Micro Beam Resonators with Corrugation

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅