基于负温度系数的多晶硅电阻电热激励/压阻检测微桥谐振器的新型红外探测器

韩建强; 李森林; 李琰; 王小飞; 冯日盛

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基于负温度系数的多晶硅电阻电热激励/压阻检测微桥谐振器的新型红外探测器

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报道了一种基于负电阻温度系数的多晶硅电阻电热激励/压阻检测SiO2/Si3N4/SixNy微桥谐振器的新型红外探测器.微桥谐振器吸收的红外辐射引起微桥温度升高,激励电阻和检测电桥的阻值减小,使得恒定激励电压作用下激励电阻的静态功率和惠斯登电桥的焦耳热增加,等效于增加了辐射在微桥谐振器上的红外辐射.初步的实验证实了该方案的可行性.

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来源
《红外与毫米波学报》|2015年第2期|134-139|共6页
作者
韩建强; 李森林; 李琰; 王小飞; 冯日盛;
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作者单位

中国计量学院机电工程学院,浙江杭州310018;

中国计量学院机电工程学院,浙江杭州310018;

中国计量学院机电工程学院,浙江杭州310018;

中国计量学院机电工程学院,浙江杭州310018;

中国计量学院机电工程学院,浙江杭州310018;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类红外探测、红外探测器;制造工艺及设备;
关键词
微桥谐振器; 红外探测器; 多晶硅电阻; 负电阻温度系数;
入库时间 2023-07-25 20:02:32

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