Piezoelectric transducers; Resonators; Silicon dioxide; Silicon nitrides; Chemical vapor deposition; Dielectric films; Layers; Low pressure; Microelectromechanical systems; Polycrystalline; Piezoresistive transduction; Mems(Microelectromechanical structures); Nems(Nanoelectromechanical structures); Lpcvd(Low-pressure chemical vapor deposition);
机译:多层多晶硅谐振器中的压阻转换
机译:具有压阻转导的自上而下的CMOS-NEMS多晶硅纳米线
机译:硅体模微机电谐振器的差分电容输入和差分压阻输出增强型转换
机译:压阻硅纳米线对谐振MEMS传感器频率分辨率的转导性能
机译:具有集成放大器的压阻式压力传感器,使用金属感应的横向结晶多晶硅实现。
机译:具有压阻转导的自上而下的CMOS-NEMS多晶硅纳米线
机译:自顶向下的具有压阻转导的CMOS-NEMS多晶硅纳米线