NEMS CMOS-NEMS mechanical resonators piezoresistive transduction polysilicon nanowires;
机译:具有压阻转导的自上而下的CMOS-NEMS多晶硅纳米线
机译:通过FIB植入和湿法蚀刻通过自上而下工艺制造的P型硅氧化硅纳米线的压阻效应
机译:通过自上而下的光刻,干法蚀刻和金属诱导的横向结晶形成矩形多晶硅纳米线
机译:压阻硅纳米线对谐振MEMS传感器频率分辨率的转导性能
机译:通过铝诱导结晶获得的纳米晶压阻多晶硅膜,用于压力传感应用。
机译:不同沉积温度下多晶硅纳米薄膜的压阻灵敏度线性和电阻时间漂移
机译:自顶向下的具有压阻转导的CMOS-NEMS多晶硅纳米线
机译:多层多晶硅谐振器中的压阻式转换。