MEMS AlN resonator; contour mode; heavily doped silicon; temperature coefficient of frequency (TCF); cryogenic characteristics;
机译:与AlN轮廓模式谐振器单片集成的压电AlN RF MEMS开关的双光束驱动
机译:基于横向场激励压电AlN轮廓模式MEMS谐振器的1.05-GHz CMOS振荡器
机译:基于自耦合压电AlN轮廓模式谐振器的超高频通道选择MEMS滤波器
机译:基于厚度场激励的压电AlN轮廓模式MEMS谐振器的1.5 GHz CMOS压控振荡器
机译:绝缘体上硅(SOI)晶片上的集成静电和压电转换轮廓模式MEMS谐振器
机译:测量验证的轮廓模式MEMS谐振器和振荡器的温度相关分析设计模型
机译:与AlN轮廓模式谐振器单片集成的压电AlN RF MEMS开关的双光束驱动