钻石基板MEMS谐振器问世 突破微波领域新纪录

摘要

MIPT超硬与新奇碳材料技术研究所（TISNCM）与西伯利亚联邦大学研究人员最新研究了一种较硅晶压电更快的“声波”谐振器——钻石基板MEMS谐振器，已经成功地模拟超灵敏的传感器，突破微波领域的新纪录。