Innovation on Line Cut Methods of Self-aligned Multiple Patterning

机译：自对准多图案全芯片布线中的布线规划优化切割掩模

机译：为自对准多重图案切割过程的边缘放置产量建模

机译：通过在自对准双图案中插入冗余的优化

机译：单行切割应用中的自对准多重图案的多色方法

机译：工艺中的创新：一种混合方法研究预切割面料对戒备的影响

机译：具有多个切入点和/或测量方法的预后因素研究的多元荟萃分析

机译：用于INAS纳米线图案的湿蚀刻方法和自对准电触点

机译：使用选择性蚀刻和双材料自对准多重构图工艺的制造和设计方法，以减少切孔构图的良率损失

机译：使用双层心轴和由块状掩模形成的切口进行自动对准的多个构图工艺

机译：截止的方法和结构与自对准双图案