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机译:通过在自对准双图案中插入冗余的优化
Korea Adv Inst Sci &
Technol Sch Elect Engn 291 Daehak Ro Daejeon 34141 South Korea;
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Redundant via insertion; self-aligned double patterning; cut mask optimization;
机译:通过在自对准双图案中插入冗余的优化
机译:自对准多图案全芯片布线中的布线规划优化切割掩模
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机译:通过自对准双图案插入实现冗余
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