机译:为自对准多重图案切割过程的边缘放置产量建模
School of Electronic and Computer Engineering, Shenzhen Graduate School, Peking University, Shenzhen 518055, China;
School of Electronic and Computer Engineering, Shenzhen Graduate School, Peking University, Shenzhen 518055, China;
Self-aligned multiple patterning (SAMP); Overlay; Cut hole; Edge placement; Probability-of-failure (POF); Overhang;
机译:交替材料自对准多重构图的工艺开发和边缘放置良率建模
机译:工艺参数对自对准多重构图工艺图形形成的影响
机译:自对准多图案全芯片布线中的布线规划优化切割掩模
机译:切孔图案化过程的通用边缘放置产量模型
机译:自对准双图案的蚀刻研究
机译:同源盒转录因子切坐标图案和生长过程中果蝇气道重塑
机译:自对准多拼板的线切割方法的创新