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机译:高性能SOI MEMS压阻式加速度计的设计,制造和表征
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机译:具有质量边缘对齐挠曲性的高性能硅压阻Z轴加速度计的设计,制造和测试
机译:设计,制造和测试高性能硅压阻Z轴加速度计,其质量边缘对齐弯曲度得到验证
机译:高性能MEMS加速度计的设计,制造和表征
机译:CMOS-MEMS压阻式加速度计和纳米牛顿力传感器的设计和微制造。
机译:基于MEMS的压阻式加速度计用于头部损伤监测的机械结构设计:通过传感器惯性质量矩增量的计算分析
机译:具有片上参考电阻的线性和角度压阻式加速度计的单掩模sOI制造工艺