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目录
1绪论
1.1课题研究背景
1.2国内外研究现状
1.3论文的主要工作
2大过载加速度计结构设计与理论分析
2.1结构选择
2.2压阻式加速度计结构分析与设计
2.3压阻设计
2.4小结
3大过载加速度计有限元仿真
3.1有限元法简介
3.2有限元仿真
3.3仿真中遇到的问题
3.4小结
4大过载加速度计的工艺实现
4.1用到的关键工艺
4.2工艺流程设计
4.3工艺过程的监控和测量
4.3小结
5大过载加速度计的封装
5.1大过载加速度计封装的意义
5.2塑封封装
5.3金属壳体灌封
5.4本章小结
6大过载加速度计的测试
6.1热塑封效果分析
6.2金属壳体封装后测试
6.3本章小结
7 总结与展望
7.1总结
7.2展望
参考文献
攻读硕士学位期间发表的学术论文及取得的成果
致谢