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董培涛; 李昕欣; 张鲲; 吴学忠; 李圣怡; 封松林;
国防科技大学机电工程与自动化学院;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室;
硅微机械加工技术; 三轴加速度计; 压阻; 高g; 塑封;
机译:具有质量边缘对齐挠曲性的高性能硅压阻Z轴加速度计的设计,制造和测试
机译:设计,制造和测试高性能硅压阻Z轴加速度计,其质量边缘对齐弯曲度得到验证
机译:高性能单片三轴压阻冲击加速度计
机译:基于蚁群算法的单片高冲击三轴压阻加速度计的结构优化
机译:CMOS-MEMS压阻式加速度计和纳米牛顿力传感器的设计和微制造。
机译:单晶硅晶片中单片集成三轴高冲击加速度计的设计制造和测试
机译:单片压阻高g三轴加速度计的制作与表征
机译:批量微机械加工6H-siC高g压阻式加速度计制造和测试
机译:三轴压阻式加速度计的制造方法及相对压力监视装置
机译:具有三轴压阻加速度计的压力监视装置的制造方法
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