单片集成的压阻式三轴加速度计及制备方法

摘要

本发明公开了一种单片集成的压阻式三轴加速度计，包括基片，所述基片的中心刻蚀出质量块（3）和四个矩形梁（2），所述质量块（3）上部边缘四边通过分别矩形梁（2）与基片边框（1）一体连接，即质量块（3）右边通过梁L1与基片边框（1）连接、其上边通过梁L2与基片边框（1）连接、其左边通过梁L3与基片边框（1）连接、其下边通过梁L4与基片边框（1）连接；所述基片边框（1）四角留有未刻蚀的限位模块（7），所述限位模块（7）与矩形梁（2）、质量块（3）边缘之间均留有XY向抗过载间隙（9）。本发明在四梁四边框的基础上，通过改变边框形状，以及增加上下盖板来限制质量块在笛卡尔坐标系中X、Y、Z三个方向上的位移，从而实现抗过载功能。