Oakland University.;
机译:用于生物医学应用的纳米牛顿CMOS-MEMS电容式力传感器的最佳PID控制
机译:具有频率输出的三轴单质量CMOS-MEMS压阻加速度计
机译:具有大质量证明的低成本CMOS-MEMS压阻式加速度计
机译:CMOS-MEMS纳米牛顿力传感器的非线性控制器和观测器设计
机译:动态范围极限条件下的惯性传感器设计:集成式CMOS-MEMS高g和mu g加速度计。
机译:具有证明质量的低成本CMOS-MEMS压阻式加速度计
机译:微粒处理的横向纳米牛顿力传感压阻式悬坐悬臂
机译:批量微机械加工6H-siC高g压阻式加速度计制造和测试