法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-04-18
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01P15/12 公开日:20090513 申请日:20081206
发明专利申请公布后的驳回
2009-07-08
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-05-13
公开
公开
机译: 半导体加速度计,特别是用于触发汽车安全气囊的装置-具有硅板成型重量,具有金属箔重量和压阻的框架和膜片部分
机译: 通过低温金属诱导结晶制造压阻多晶硅的方法和设备
机译: 低温金属诱导结晶制备压阻多晶硅的方法和装置