硅微谐振式加速度计温漂补偿研究

摘要

硅微谐振式加速度计的输出信号是由谐振频率反映的,谐振频率的特性决定了仪表的精度.但加速度计的谐振频率具有温敏特性,当温度变化时,便会产生测量误差.为了减小这一影响,结合加速度计的外围控制系统,在分析加速度计谐振频率、控制电压随温度变化规律的基础上,设计加速度计零偏的补偿方法.利用数据拟合,建立加速度计谐振偏移频率与控制电压的模型,基于模型完成加速度计零偏的温度补偿工作.针对该方法的有效性,进行了全温实验验证,结果表明:应用该补偿方法,在-20～30°C之间,相较于补偿前的加速度计零偏漂移减小了66.7％.