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温明生;
电容加速度;
机译:基于硅的新型两轴压阻式微加速度计的研制
机译:高冲击硅加速度计,带有悬挂式压阻传感桥
机译:利用湿各向异性蚀刻实现具有质量边缘对齐挠曲性的硅压阻式加速度计的实现
机译:硅压阻式高震动加速度计设计
机译:CMOS-MEMS压阻式加速度计和纳米牛顿力传感器的设计和微制造。
机译:基于MEMS的压阻式加速度计用于头部损伤监测的机械结构设计:通过传感器惯性质量矩增量的计算分析
机译:具有纳米压阻的新型三轴微型耳塞压阻加速度计的设计与优化
机译:批量微机械加工6H-siC高g压阻式加速度计制造和测试
机译:硅压阻式压力传感器的设计
机译:半导体加速度计,特别是用于触发汽车安全气囊的装置-具有硅板成型重量,具有金属箔重量和压阻的框架和膜片部分
机译:用相同的桥式压电电阻带压阻式加速度计传感器的桥式结构和制造方法的制造方法
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