机译:具有质量边缘对齐挠曲性的高性能硅压阻Z轴加速度计的设计,制造和测试
机译:设计,制造和测试高性能硅压阻Z轴加速度计,其质量边缘对齐弯曲度得到验证
机译:微机加工硅加速度计,带有压阻性SCR实施葡萄糖
机译:硅压阻式高震动加速度计设计
机译:CMOS-MEMS压阻式加速度计和纳米牛顿力传感器的设计和微制造。
机译:附有硅的悬浮石墨烯膜证明质量作为压阻纳米机电系统加速度计
机译:具有玻璃-硅-玻璃夹心结构的单片集成压阻MEMS加速度计压力传感器
机译:批量微机械加工6H-siC高g压阻式加速度计制造和测试