压阻式高量程微加速度计的设计

摘要

为了满足过载环境对高量程加速度计的需求,设计了一种高量程微加速度计.通过对敏感结构建立数学模型及Ansys静力学仿真,确定了该加速度计的总体设计,最后对加工完成的加速度计进行了测试.结果表明,该加速度计的灵敏度为193.3 μV/g,在受到10 000g以上的加速度作用时仍能正常工作,能够满足实际需要.