机译:1-DoF MEMS批量微加工压阻式加速度计的设计,建模和基于FEM的仿真
机译:基于计算机辅助分析的用于混凝土SHM应用的大体积微机械压阻MEMS加速度计的简单分析设计方法
机译:基于不规则微驼峰结构的高灵敏度,耐磨压阻式压力传感器及其在人体运动传感中的应用
机译:可穿戴式传感应用的压阻式微加速度计的设计与仿真
机译:CMOS-MEMS压阻式加速度计和纳米牛顿力传感器的设计和微制造。
机译:用于重力测量的微机电系统加速度计的新型电容传感系统设计
机译:用于混凝土SHM的大体积微机械压阻MEMS加速度计的计算机辅助设计和束流布置的影响