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机译:1-DoF MEMS批量微加工压阻式加速度计的设计,建模和基于FEM的仿真
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机译:基于MEMS的压阻式加速度计用于头部损伤监测的机械结构设计:通过传感器惯性质量矩增量的计算分析
机译:MEMS悬臂梁压电加速度计和SHM(结构健康监测)应用的高灵敏度设计简单分析模型
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