共振隧穿压阻式微加速度计

摘要

本发明涉及微加速度计，具体为一种共振隧穿压阻式微加速度计。本发明解决现有的硅压阻式加速度计灵敏度较低，温度稳定性较差，很难测量高g(重力加速度)值加速度，无法满足现代测试技术的高精度要求的问题，利用了超晶格量子阱薄膜具有压阻效应的特性。本发明在超晶格薄膜上加工出共振隧穿压敏电阻，将超晶格薄膜的衬底加工成外围基座、与基座相连的“十”字形悬臂梁和四周与悬臂梁相连的质量块的传力结构，并使四块共振隧穿压敏电阻位于悬臂梁与基座的连接处。共振隧穿压阻式微加速度计是全部采用MEMS工艺加工制作的量子器件。因具有量子效应、表面效应和尺寸效应，而表现出高灵敏度，低功耗、微体积、低功耗和易数字化等特点。