公开/公告号CN101271124B
专利类型发明专利
公开/公告日2010-09-29
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN200810037511.5
申请日2008-05-16
分类号
代理机构上海智信专利代理有限公司;
代理人潘振甦
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 09:05:14
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-09-29
授权
授权
2008-11-19
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-09-24
公开
公开
机译: 压阻式微机械传感器组件,例如加速度传感器在弯曲托梁的顶面和底面提供压阻掺杂区,并在相对侧将其布置在基板和地震质量之间
机译: 制造装置的方法和具有压阻装置的装置,用于检测悬挂梁和梁的位移
机译: 以及一种制造装置的方法,该装置具有用于检测梁和被悬挂梁的位移的装置压阻装置。