基于MEMS压阻式微压传感器的颅内压监测探头设计

摘要

目前用于颅内压监测主要方式有直管式探头、光纤探头以及植入设备三种,其中颅内直管式探头监测属于有创监测,虽然有感染伤口的风险,但依然是目前最为常用的颅内压监测手段.本文针对直管式探头的制作工艺,提出了一种新的直管式探头的封装工艺,研制了一种基于微压力传感器的颅内压监测探头.通过将金线和漆包线用导电银胶直接相连的电气连接方式,大大的降低了探头的整体体积,且保证了良好的导电性能,提高了封装后的使用寿命;敏感元件采用了自主研发的MEMS微压力传感器芯片,降低了制作成本.实验结果表明,所设计的直管式探头具有灵敏度高、线性度好等优点.传感器的封装过程并未对传感器产生较大影响.