机译:基于多晶硅压阻仪PDMS(聚二甲基硅氧烷)基于MEMS力传感器的MEMS力传感器的设计分析
MEMS; microbotics; force Sensor; microcantilever; PDMS; polysilicon;
机译:基于多晶硅压阻仪PDMS(聚二甲基硅氧烷)基于MEMS力传感器的MEMS力传感器的设计分析
机译:具有集成的基于碳纳米管的压敏电阻的多轴MEMS传感器,用于纳米牛顿级力的计量
机译:基于MEMS的低成本压阻微悬臂力传感器和传感器模块
机译:集成碳纳米管压电电阻的多轴MEMS力传感器的设计与制造
机译:装配过程中基于抓手的位置/力传感器设计和机器人手运动控制(雇佣,板理论,匹配分析,控制算法,部分)。
机译:基于MEMS的低成本压阻微悬臂力传感器和传感器模块
机译:基于MEMS的低成本压阻式微电势传感器和传感器模块
机译:基于microCantilever(mC)的纳米机械传感器检测分子相互作用。