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用有限元仿真计算压阻式MEMS压力传感器的输出

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讲述了一种用Coventorware对压阻式MEMS压力传感器进行有限元仿真的方法,用这种方法可以直接计算出传感器在额定压力下的信号输出.这种方法可以使MEMS压力传感器设计过程变得精确、直观和简单,改变了以往设计过程中通过经验来确定压力传感器膜厚度和电阻条位置的方式.

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来源
《仪表技术与传感器》 |2010年第8期|12-13,39|共3页
作者
孙小龙;
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作者单位

北京大学微电子研究所青鸟元芯微系统科技有限责任公司,北京,100871;

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正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
MEMS; 压力传感器; 有限元分析; Coventorware;

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